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半導體廠 面板廠 對油品最大的要求 就是 低揮發性 面板廠內的任何飛揚的粉塵有機揮發物都是產品品質殺手 尤其在陣列測試階段 一個油氣粒子就可以摧毀一個面板 因此全球高階面板廠 都是Nye的重要客戶 |
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半導體業用油指引 下載 | |||||||||||||||||||||||
1. 無塵室用油 | |||||||||||||||||||||||
2. 真空環境用油 | |||||||||||||||||||||||
3. 面板廠用油 | |||||||||||||||||||||||